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深圳市技術攻關重點項目申報(智能裝備專項)重磅來襲!

   日期:2025-05-07 13:11:07     來源:項目申報     作者:中企檢測認證網     瀏覽:19    評論:0
核心提示:深圳市技術攻關重點項目(智能裝備專項)申報時間:6月5日----6月30日共18個課題!!!最高資助金額:1000萬元!!從事相關領域企業可聯系我們!申

深圳市技術攻關重點項目(智能裝備專項)申報時間:6月5日----6月30日
共18個課題!!!最高資助金額:1000萬元!!從事相關領域企業可聯系我們!
申報條件
(一)申請牽頭單位應當是在深圳市(含深汕特別合作區)內依法注冊、具有獨立法人資格,且2019年度營業收入在2000萬元以上國家或深圳市高新技術企業、技術先進型服務企業;
(二)采用聯合申報方式,鼓勵產學研用合作攻關,牽頭單位2019年度營業收入不足1億的,參與單位應有1家企業2019年度營業收入在1億以上(含1億元)。國內(含港澳)具有獨立法人資格的高校、科研機構和企業可作為合作單位參與項目;
(三)項目負責人必須為申請牽頭單位的全職在職人員,項目組成員總人數的50%以上須在深圳購買社會保險;
課題內容
項目一、重2020N001 高精度大扭矩銑削電主軸關鍵技術研發
 一、領域:【 八、先進制造與自動化--(六)先進制造工藝與裝備】
  二、主要研發內容
  (一)高精度大扭矩電主軸結構優化設計;
  (二)高精度大扭矩銑削電主軸靜、動態特性研究;
  (三)高精度大扭矩電主軸軸承承載能力研究;
  (四)高精度大扭矩電主軸智能控制。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.電主軸最高轉速≥24000 rpm;
  2.額定扭矩≥92 N·m;
  3.峰值扭矩≥137 N·m;
  4.額定功率≥29 kW;
  5.主軸錐孔≥HSK-63;
  6.主軸300mm端跳動≤3μm。
  四、項目實施期限:3年
 五、資助金額:不超過1000萬元
項目二、重2020N002 半導體大尺寸硅片邊緣精密拋光機的研發
一、領域:【八、先進制造與自動化--(六)先進制造工藝與裝備】
  二、主要研發內容
  (一)超聲波輔助邊緣拋光裝置的研發;
  (二)拋光鼓加壓系統設計與壓力精確控制;
  (三)拋光系統硅片邊緣的拋光工藝研究;
  (四)硅片自動上下料機器人系統的研發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.適用硅片尺寸:直徑200mm(8寸)和300mm(12寸);
  2.每小時產量:單機≥50片;
  3.拋光時間≤30秒,加持對位時間≤32秒;
  4.邊緣加工后粗糙度要求(1 ANG= 0.1 nm):
  (1)A-CF(上斜面)≤4.77 ANG;
  (2)B-CF(下斜面)≤3.71 ANG;
  (3)TOP(正側面)≤5.57 ANG。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目三、重2020N003 高精度金剛石工具磨床關鍵技術研發
一、領域:【八、先進制造與自動化--(六)先進制造工藝與裝備】
  二、主要研發內容
  (一)金剛石刀具刃磨機理與加工工藝優化;
  (二)高精度空氣靜壓磨床主軸研發;
  (三)高精度氣浮回轉工作臺研發;
  (四)金剛石刀具刃磨質量在線監測系統研發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.砂輪主軸組件:
  (1)最高轉速≥10000rpm,支持雙向旋轉與無級調速;
  (2)端面跳動≤0.5μm;
  (3)徑向跳動≤0.5μm;
  (4)可搭載砂輪直徑≥150mm。
  2.旋轉工作臺組件:
  (1)端面跳動≤0.1μm;
  (2)徑向跳動≤0.1μm;
  (3)回轉定位精度≤0.001rad;
  (4)直線進給精度≤1μm;
  (5)恒力進給機構:0-450N。
  3.刀具及缺陷檢測指標:
  (1)刀具加工面粗糙度Ra≤0.02μm;
  (2)刀具刃口崩缺≤0.1μm;
  (3)刀具缺陷檢出率≥90%;
  (4)刀具缺陷檢出時間≤3秒。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目四、重2020N004 半導體高精度刀輪切割機關鍵技術研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(六)先進制造工藝與裝備】
  二、主要研發內容
  (一)高速氣浮電主軸研發與靜動態性能研究;
  (二)高速高精度多維平臺和快速響應硬件系統研發;
  (三)高速刀輪切割工藝參數的優化與配置研究;
  (四)刀輪機視覺檢測系統開發與檢測算法研究。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.主軸最大轉速≥30000rpm;
  2.裸軸振動≤0.1mm/s @30000rpm;
 3.行程:X/Y1/Y2/Z/θ軸 為650mm/550mm/550mm/30mm/380°;
  4.重復性:Y/Z軸≤1μm,θ軸≤3 arcsec;
  5.直線度:X軸≤2μm;
  5.檢測指標:
  (1)刀破檢測范圍≥0.5mm;
  (2)測高精度≤2μm;
  (3)崩邊檢出≥5μm;
  (4)飛拍檢測≥400mm/s。
  四、項目實施期限:3年
 五、資助金額:不超過1000萬元
項目五、重2020N005 高速高精度倒裝共晶(COF)綁定設備關鍵技術研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(六)先進制造工藝與裝備】
  二、主要研發內容
  (一)高速高精度IC芯片取放和綁定裝置的開發;
  (二)高速高精度機器視覺識別及對位技術研究;
  (三)高平面度綁定頭控制調節技術研究;
  (四)綁定設備視覺系統散熱技術研發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.固晶精度:X/Y≤±1.5 μm;
  2.固晶節拍≤1.35秒(不含制程作用時間);
  3.綁定力:10-343 N;
  4.生產方式:卷對卷;
  5.綁定方式:共晶;
  6.適應晶圓尺寸:8英寸和12英寸。
  四、項目實施期限:3年
 五、資助金額:不超過1000萬元
項目六、重2020N006 高性能集成型磁編碼器關鍵技術研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(四)機器人】
  二、主要研發內容
  (一)磁敏感元器件研發;
  (二)微小信號放大與低噪聲模數轉換技術研究;
  (三)數字信號處理與誤差補償算法研究;
  (四)編碼器電磁抗擾動及可靠性設計;
  (五)磁編碼器的單芯片集成。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7件,其中發明專利≥3件。
  (三)技術指標:
  1.分辨率≥16bit;
  2.測角精度優于±0.1° ;
  3.最高轉速25000rpm;
  4.采樣延時≤1.8μs;
  5.工作溫度-40~125℃。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元
項目七重2020N007 面向5G通訊及新型顯示的高精度接近式光刻裝備關鍵技術研發
一、領域:【 八、先進制造與自動化--(六)先進制造工藝與裝備】
  二、主要研發內容
  (一)高精度光學系統的設計與開發;
  (二)高精密運動平臺與調平系統的研發;
  (三)自動視覺對位系統研制及算法開發;
  (四)光刻工藝分析與參數優化匹配研究。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.產品最大可定制尺寸:500×500×(0.5-5)mm;
  2.光源可定制:500W/1000W/2000W汞燈以及LED光源,波長365nm (含405,436);
  3.光源照度≥40mw/cm²(可定制);
  4.光源均勻度偏差優于:±3%;
  5.對位精度:±1 μm;
  6.平臺定位精度:±1 μm;
  7.曝光分辨率≤2μm,最小線寬1μm,曝光均勻度≤10%;
  8.設備產能≤7.8秒/枚(不包含曝光時間)。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目八、重2020N008 基于主動安全與智能交互技術的協作機器人研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(四)機器人】
  二、主要研發內容
  (一)非接觸式智能空間交互與靈巧示教技術研發;
  (二)非接觸式碰撞檢測與自主避障技術研發;
  (三)接近覺、觸覺、力覺融合的自適應柔性作業技術研發;
  (四)非接觸式主動感知協作機器人整機系統開發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.重復定位精度優于±0.03mm ;
  2.功率限值公差≤10W,動量限值公差≤3kg·m/s,力限值公差≤25N,速度限值公差≤50mm/s,停止時間限值公差≤50ms,停止距離限值公差≤40mm;
  3.空間交互示教分辨率≤0.1mm;
  4.力傳感單元:測量精度≤2N,分辨率≤1N,最大測力值≥100N;
  5.非接觸感知檢測單元:可實現機器人包裹穿戴,面積 ≤10cm×10cm, 檢測距離≥15cm;非接觸式實時避障響應時間≤10ms,滿足安全速度≥0.4m/s;
  6.觸覺傳感單元:最小檢測質量0.01g,觸覺傳感器寬泛感知范圍:10Pa-5MPa;
  7.多傳感信息融合的自適應柔性作業工藝包1套。四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目九、重2020N009 面向3C及半導體精密制造的工業機器人關鍵技術研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(四)機器人】
  二、主要研發內容
  (一)基于片上系統(SOC)的驅控一體、自整定免調試、防抖技術研究;
  (二)最優時間規劃、最優電流限制和穩態精度技術研究;
  (三)機器人高可靠性設計;
  (四)高潔凈密封及散熱技術研究;
  (五)機器人智能視覺技術研究。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8件,其中發明專利≥4件。
  (三)技術指標:
  1.標準門型軌跡循環周期≤0.32s;
  2.位置重復定位精度≤0.01mm;
  3.高速下(7.7m/s)軌跡精度≤0.3mm,減速時間≤0.1s,停止穩定時間≤0.1s;
  4.支持機器視覺智能飛拍速度≥7.7m/s,支持智能飛拍點數≥4個;
  5.抖動抑制:頻率點≥4個,支持輸入整形和陷波防抖;
  6.支持傳送帶動態跟隨與物料抓取:傳送帶最高速度≥500mm/s,抓取精度≤0.35mm;
  7.支持視覺標定,標定精度≤0.15mm;
  8.電流環:周期≤2μs,頻率響應≥3.2kHz。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目十、重2020N010 設備健康監測用傳感器及數據處理系統關鍵技術研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(三)高性能、智能化儀器儀表】
  二、主要研發內容
  (一)面向低頻振動測量的三維振動傳感器研發;
  (二)面向磨損點位置及關鍵點溫度變化趨勢檢測的平面溫度場傳感器研發;
  (三)面向設備健康狀態監測的三維聲場傳感器研發;
  (四)面向磨損檢測的位移傳感器研發;
  (五)面向機床健康監測的傳感器布局設計與數據處理系統研發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7件,其中發明專利≥3件。
  (三)技術指標:
  1.三維振動傳感器(g代表重力加速度):頻率響應0.5-4kHz(±5% ),等效噪聲≤80μg/√Hz,零點溫度漂移≤0.75mg/℃,輸出靈敏度典型值100mV/g@±20g;
  2.二維溫場傳感器:測溫范圍-40-300℃,等效溫度噪聲 ≤0.1K @4Hz,像素數≥192;
  3.聲場傳感器:頻率范圍50Hz-16KHz,陣源數≥36個,相位一致性≤3°,動態范圍30-126dB,靈敏度≥10mV/Pa,信噪比 ≥65dB;
  4.位移傳感器:行程0-5mm,重復精度≤1μm,使用壽命≥100萬次;
  5.數據處理器:通道數16,ADC分辨率24bit,采樣率10-128kSa/s/ch,采樣噪聲≤50μVrms,增益漂移典型值16ppm/℃、最大值52ppm/℃;電壓漂移典型值19.2μV/℃、最大值118μV/℃,動態范圍≥102dB。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元
項目十一、重2020N011 高精密PCB飛針測試機關鍵技術研發
一、領域:【 八、先進制造與自動化--(三)高性能、智能化儀器儀表】
  二、主要研發內容
  (一)超高速多軸飛針測試機精密機械結構設計;
  (二)八探頭聯動精密運動控制技術研究;
  (三)面向超多網絡(大于20萬相鄰網絡)PCB的飛針測試軟件研發;
  (四)測試點優化編組與測試路徑優化算法研究;
  (五)飛針測試探頭模塊研發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7件,其中發明專利≥3件。
  (三)技術指標:
  1.測試探頭8個;
  2.測試速度≥4500點/分;
  3.最大測試幅面≥720mm×610mm,最小測試幅面≤10mm×10mm;
  4.測試最小焊盤尺寸≤0.035mm(1.4mil),最小焊盤間距≤0.10mm(4.0mil);
  5.系統精度±0.001mm ,重復精度±0.003mm ;
  6.探針下針速度≥50次/秒,微探針壓力≤2.5g;
  7.電容測試精度≤0.001pF,電阻測試精度≤0.1mΩ(低阻測試);
  8.測試電壓(開路)0-10V,測試電壓(短路)≥500V,測試電流10-300mA。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元
項目十二、重2020N012 新型錐蝸輪減速器關鍵技術研發
一、領域:【八、先進制造與自動化--(七)新型機械】
  二、主要研發內容
  (一)漸開螺旋面齒形錐蝸輪傳動設計理論及優化方法研究;
  (二)新型錐蝸輪減速器柔性低成本批量化加工方法;
  (三)錐蝸輪傳動系統集成與應用研究。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7件,其中發明專利≥3件。
  (三)技術指標:
  安裝距離25mm系列:
  1.減速比:單級≥60;
  2.額定輸入轉速:≥3000rpm;
  3.額定輸出轉矩:≥65N·m;
  4.組件重量:≤0.7kg。
  安裝距離50mm系列:
  5.減速比:單級≥120;
  6.額定輸入轉速:≥3000rpm;
  7.額定輸出轉矩:≥600Nm;
  8.組件重量:≤2.1kg。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元
項目十三、重2020N013 高精度低噪聲紅外傳感器研發
 一、領域:【 八、先進制造與自動化--(三)高性能、智能化儀器儀表】
  二、主要研發內容
  (一)紅外輻射接收材料連接方式設計;
  (二)紅色輻射透鏡與濾光片設計;
  (三)紅外傳感器溫度補償方法研究;
  (四)紅外傳感器封裝設計。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7件,其中發明專利≥3件。
  (三)技術指標:
  1.波長范圍8-14μm;
  2.感應區域≥0.7mm×0.7mm;
  3.熱電堆內阻50-90kΩ(環境溫度25℃);
  4.輻射響應≥45V/W(輻射源500K黑體,1Hz帶寬,無濾光片);
  5.響應時間≤22ms;
  6.噪聲電壓≤25nV/√Hz(環境溫度25℃);
  7.探測率≥1.1×10 8cm· √Hz/W(環境溫度25℃,輻射源
  500K黑體,1Hz帶寬);
  8.熱敏電阻阻值100±0.2k Ω(環境溫度25℃);
  9.熱敏電阻Beta值3964±12K ;
  10.傳感器視角≥60(半峰值強度視角寬度)。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元
項目十四、重2020N014 基于玻璃纖維結構的水下油氣生產設施防護系統關鍵技術研發
 一、領域:【 八、先進制造與自動化--(十一)高技術船舶與海洋工程裝備設計制造技術】
  二、主要研發內容
  (一)水下復合材料保護結構總體方案研究;
  (二)水下復合材料保護結構功能設計研究;
  (三)水下復合材料保護結構加工制造研究;
  (四)水下復合材料保護結構安裝方案研究;
  (五)水下復合材料保護結構檢驗方案研究。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000 萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7 件,其中發明專利≥3 件。
  (三)技術指標:
  1.應用水深≥750m;
  2.漁網通過性:不產生拖掛;
  3.漁網拖掛設計載荷≥2×200kN (相遇角0-20 度);
  4.拖板最大設計載荷≥300kN(相遇角0-20 度);
  5.拖板撞擊設計載荷≥13kJ;
  6.落物撞擊載荷
  直徑500mm 落物,載荷≥20kJ;直徑100mm 落物,載荷≥5kJ。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元
項目十五、重2020N015 基于點陣結構的微納衛星主體設計與構筑關鍵技術研發
 一、領域:【 三、航空航天--(二)航天技術】
  二、主要研發內容
  (一)微納衛星典型點陣材料設計與性能分析技術;
  (二)微納衛星點陣結構設計技術;
  (三)微納衛星點陣結構構筑技術;
  (四)整星結構樣機研制技術。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000 萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8 件,其中發明專利≥4 件。
  (三)技術指標:
  衛星結構技術指標:
 1.結構包絡尺寸不小于240mm×240mm×175mm;
  2.結構重量≤2.8kg,結構承載能力≥13kg;
  3.整星基頻:縱向≥60Hz,橫向≥50Hz,扭轉≥50Hz;
  4.動載荷:正弦振動量級≥3g(5-100Hz),隨機振動量級≥10Grms(20-2000Hz),沖擊量級≥1500g;
  5.熱載荷:真空條件下,-40℃~+65℃;材料技術指標:
  6.輕量化材料密度≤1500kg/m³,強度≥300MPa;工藝技術指標:
  7.新型制備工藝(3D 打印)結構孔洞收縮量≤0.25%;
  8.新型制備工藝(3D 打印)結構表面粗糙度
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目十六、重2020N016 超高動態性能太陽能陣列模擬器關鍵技術研發
 一、領域:【三、航空航天--(二)航天技術】
  二、主要研發內容
  (一)多場景太陽能陣列數學模型研究;
  (二)超高速非線性I-V 外環控制方法研究與實現;
  (三)超高動態特性太陽能陣列模擬器拓撲技術研究;
  (四)多場景智能適配測量和高效人機交互研究。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000 萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8 件,其中發明專利≥4 件。
  (三)技術指標:
  1.最大輸出功率≥1200W;
  2.最大開路電壓≥130V;
  3.最大功率點電壓≥120V;
  4.最大短路電流≥10A(單通道);
  5.最大功率點電流≥10A(單通道);
  6.最大分流功率損耗≤0.29Pm(Pm 為最大功率點);
  7.額定工作點效率≥68%;
  8.自動并聯最大模塊數≥4;
  9.自動并聯最大模塊功率≥4.8kW;
  10.曲線解析度:8192;
  11.單通道輸出切換頻率≥30kHz;
  12.四通道并聯輸出切換頻率≥5kHz。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目十七、重2020N017 深海可燃冰原位勘測系統關鍵技術研發
 一、領域:【八、先進制造與自動化--(十一)高技術船舶與海洋工程裝備設計制造技術】
  二、主要研發內容
  (一)可燃冰地層原位測試數據分析方法研究;
  (二)深海鉆孔靜力觸探裝置研制;
  (三)深海可燃冰全地層自鉆式旁壓裝置研制。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000 萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥8 件,其中發明專利≥4 件。
  (三)技術指標:
  深海旁壓裝置:
  1.側脹壓力≥3.5MPa;
  2.壓力與體積變化量的測試精度≤5%;
  3.最大工作水深≥3000m;
  4.鉆孔式(全地層)。
  深海靜力觸探(CPT)裝置:
  1.測試量程:
  錐尖阻力0-50MPa;
  側壁摩擦力0-1MPa;
  超孔隙水壓力0-3.5MPa。
  2.貫入裝置:
  每回次貫入行程≥3m 或最大貫入力≥50kN;貫入速率≥20mm/s±10% 。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過1000萬元
項目十八、重2020N018 艇用動力推進系統關鍵技術研發
 一、領域:【 八、先進制造與自動化--(十一)高技術船舶與海洋工程裝備設計制造技術】
  二、主要研發內容
  (一)艇用柴油發動機輸出扭矩特性優化關鍵技術研發;
  (二)艇用柴油發動機冷卻系統設計研發;
  (三)艇用柴油發動機主動減振技術研發;
  (四)表面槳推進器輕量化技術研發;
  (五)表面槳推進器可靠性測試技術研發;
  (六)艇用動力推進系統整機性能和可靠性技術研發。
  三、項目考核指標(項目執行期內)
  (一)經濟指標:實現銷售收入(或量產應用)≥2000 萬元。
  (二)學術指標:申請專利≥7 件,其中發明專利≥3 件。
  (三)技術指標:
  艇用柴油發動機:
  1.功率≥117kw/4000rpm;
  2.重量≤220kg。
  表面槳推進器:
  1.最大輸入扭矩≥1700N·m;
  2.重量≤180kg。
  艇用動力推進系統:
  1.最大輸出功率:77kw/1586rpm;
  2.最大輸出扭矩:1008N·m/1586rpm;
  3.設計運行壽命大于10000h,實際測試持續運行時長大于100h;
  4.整機重量小于475kg。
  四、項目實施期限:3年
  五、資助金額:不超過800萬元

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