11月12日，全國產業計量融合創新發展會議在湖南衡陽召開。會議現場發布了市場監管總局和工信部聯合開展的“計量支撐產業新質生產力發展2025年度十大重點項目”，深圳檢測院牽頭承擔的“納米級工業CT檢測裝置研制”入選十大重點項目之一。
瞄準“卡脖子”難題，
攻堅納米級精密檢測
高端芯片與集成電路產業是國民經濟和社會發展的基礎性、先導性、戰略性產業。隨著先進封裝技術發展，納米級工業 CT 成為產品質量保障的關鍵檢測裝備。當前，國內相關裝備高度依賴進口，國產化裝備空白導致產業面臨 “卡脖子” 風險。
深圳檢測院承擔的“納米級工業 CT 檢測裝置研制”項目，在自主研發的“平面掃描成像工業CT設備”基礎上推進。現有設備可在數秒內實現芯片封裝、電路板等產品內部三維結構的快速重建與缺陷識別，最高分辨率達1微米，目前該設備已在多家企業與科研機構投入應用。為進一步滿足高端芯片微納結構檢測需求，服務我國高端集成電路與先進封裝產業，深圳檢測院積極推進“納米級工業CT檢測裝置研制”。項目將引入 AI 技術，突破納米級分辨力成像、全自動缺陷識別與智能分析及控制軟件等關鍵技術，研制形成百納米級高分辨工業CT檢測裝置，同時建立配套計量檢測技術標準及規范，形成從核心裝備到系統解決方案的全鏈條支撐能力。
全力推進研制，
服務新質生產力
此次項目入選，標志著深圳檢測院在高端計量裝備領域的研發能力獲國家認可。下一步，深圳檢測院將加快項目實施，推動裝備工程化與產業化應用，持續強化計量檢測對科技創新和產業升級的基礎支撐與戰略引領，為提升國產高端裝備自主創新能力、培育產業新質生產力注入強勁動能，以實際行動服務國家戰略，助力經濟社會高質量發展。
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