XRF、EDX、EDS，作為最常見的元素分析儀器，它們之間有什么區(qū)別呢，
XRF指的是X射線熒光光譜儀;EDX指的是能量散射型X射線熒光光譜儀，也有人叫EDXRF;EDS是能譜儀。
XRF的應(yīng)用
a) X射線用于元素分析，是一種新的分析技術(shù)，但在經(jīng)過二十多年的探索以后，現(xiàn)在已完全成熟，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域。
b) 每個元素的特征X射線的強度除與激發(fā)源的能量和強度有關(guān)外，還與這種元素在樣品中的含量。
c) 根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。
優(yōu)點:
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
缺點：
a)難于作絕對分析，故定量分析需要標樣。
b)對輕元素的靈敏度要低一些。
c)容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
其實是一樣的，但是美國人一般叫EDS，英國人一般叫EDX，國內(nèi)叫EDS的多。
EDX也是屬于 XRF的能量色散型，還有種 WDX波長色散型，不過現(xiàn)在市面上多是EDX。 XRF用的物理原理，通過X射線穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補給產(chǎn)生的能量差來判斷屬于何種元素。所以它只能測元素而不能測化合物。 ICP則需要對樣品進行溶解，采用的是化學(xué)方法，測試的是樣品的溶液，它的精確度和準確度當(dāng)然比XRF要高了。
WDXRF的X射線熒光出來后通過分光晶體分光，通過不同的波長逐一檢測。
EDXRFX射線熒光出來后直接被檢測器收集，通過數(shù)模轉(zhuǎn)換得到結(jié)果。
EDXRF體積小，價格相對較低，檢測速度比較快，但分辨率沒有WDXRF好。
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